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会誌 NEW DIAMOND 第67号

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ニューダイヤモンド

スペース

第67号 Vol. 18 No.4 (平成14年10月25日号)

目 次

1 巻頭言●人造ダイヤモンドとダイヤモンド工具──────────────千葉 次郎

展 望

2 フラーレンの大量合成とその展開───────────────────村山 英樹

科学解説

6 イリジウム基板へのダイヤモンド薄膜のエピタキシャル成長

  ───────────────────────────鈴木 一博,澤邊 厚仁

技術解説

13 ニューダイヤモンドを用いた

AFMによるナノ加工────────────────────────三宅 正二郎

18 ダイヤモンドの微細放電加工────────────────────河田 耕一

トピックス

24 ダイヤモンドプレートレットのFIB加工─────────────────野口 裕之

26 リソグラフィー用ダイヤモンドメンブレンのナノレベル平坦化

  ─────────────────西山 昭雄,松木 竜一, 松尾 二郎,瀬木 利夫

28 プラズマCVDによる結晶性窒素含有炭素の作製───────坂本 幸弘,高谷 松文

30 パルスプラズマを利用したマイクロ押出し金型へのDLCコーティング

  ──────────────────大竹 尚登,楊 旭東,中村 幸則,近藤 好正

ひろば

32 シリーズ:教育の現場から(第1回)

日本工業大学 ―ものづくり教育の老舗─────────────────村川 正夫

海外だより

34 Michigan State University──────────────────────庄 善之

学会だより

36 International Vacuum Microelectronics Conference 2002────────山田 貴壽

Diamond 2002 ──────────────藤崎 豊克,山田 貴壽,小泉 聡,谷口 尚

38 CIMTEC 2002 ─────────────────────────竹内 貞雄

表面技術協会第106回講演大会 ───────────────────渡部 修一

40 第63回応用物理学会学術講演会───────澤邊 厚仁,山田 貴壽,広瀬 洋一

42 ICNDST-8───────────────────────────渡辺 俊哉

43 PETボトルへのDLCコーティング ──────────────────本多 祐二

45 SEMをナノファクトリーに ─────────────────────新澤 雄彦

47 フロンティアカーボンテクノロジープロジェクト

大阪大学集中研究所 ────────────────────────寺地 徳之

49 フォーラムだより──────────────────────────事 務 局

50 第16回ダイヤモンドシンポジウムプログラム───────────────事 務 局

編集後記/掲示板

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表紙のことば

67表紙写真

エピタキシャル成長したイリジウム薄膜の原子間力顕微鏡像

稜線は[110]方向,平均表面粗さはÅのオーダーである.ダイヤモンドをこの表面にエピタキシャル成長させるためには,炭素を含んだ高運動エネルギー粒子を表面に照射する必要がある(6 ~ 12ページ参照).

裏表紙は,燃焼炎法により銅基板上に合成された直径(外径円)17μmの平板ダイヤモンドをFIBで端の傾斜部を除去加工後,2個の矩形形状に加工した例.加工時間は約15分.ダイヤモンドを微細かつ高精度に加工でき,加工部にマイクロクラッチなどのダメージは生じていない(24~25ページ参照).