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会誌 NEW DIAMOND 第82号

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ニューダイヤモンド

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第82号 Vol.22 No.3 (平成18年7月25日号)

目 次

1 巻頭言●中堅・中小企業のものづくりと技術経営―――――――――― 村川 正夫

展 望

2 機能材料に期待する―酸化チタンによる光触媒と

ダイヤモンド電極によるオゾン水生成を例にして―――――――――――― 藤嶋 昭

科学解説

6 高硬度ナノ多結晶ダイヤモンドの合成と特徴――――――― 角谷 均,入舩 徹男

12 大気圧プラズマによるDLC膜合成―――――近藤 好正,齊藤 隆雄,寺澤 達矢

19 グラフェンシートから構成される三次元立体構造の理論予測

―カーボンナノホーンの立体構造―      ――――――――――― 河合 孝純

トピックス

24 直径1インチI r基板へのエピタキシャルダイヤモンド成長

  ――――――――――――――前田 真太郎,安藤 豊, 鈴木 一博,澤邊 厚仁

26 RFプラズマCVD法で合成したDLC膜のフレッチング摩耗

  ――――――――――――――― 阿部 喬晋,小林 利靖,鈴木 学,竹内 貞雄

28 分子手術法による水素分子内包C60の有機合成―――――――― 村田 靖次郎

ひろば

30 シリーズ:教育の現場から(第14 回)

北海道大学――――――――――――――――――――――――― 金子 純一

海外だより

34 ミネソタ大学HTPL滞在報告――――――――――――――――― 赤坂 大樹

学会だより

36 ICNDST & ADC 2006 Joint Conference

――――神田 久生,澤邊 厚仁,大竹 尚登,赤坂 大樹,加藤 宙光,長谷川 雅考

講 座

38 ダイヤモンドをよく知るために

◆ バイオエンジニアリングの応用―――――――――― 長谷部 光泉,鈴木 哲也

(2)DLCの医用応用

42 大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学杉野研究室訪問― 辰巳 夏生

44 ナノテクフェア――――――――――――――――――――――― 安藤 豊

45 超大型DLC膜形成装置――――――――――――――――――― 西口 晃

46 平成18年度第1回研究会報告―――――――――――――――― 山田 貴壽

47 フォーラムだより―――――――――――――――――――――― 事 務 局

編集後記/掲示板

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表紙のことば

82表紙写真

準大気圧下(26.7 kPa)での DLC合成中の放電状態

陽極とその下方10mmの陰 極間に放電が確認できる.プロセスガスは右斜め45°方向にある供給ノズルを通してプラズマ部近傍に直接吹き付けて おり,左斜め45°方向にある排 気ノズルより排気されている. 裏表紙左ではドラフトチャ ンバ内に設置された円柱状の テフロン治具の下部の円筒電極よりSiウェハに向かって放電しているのが確認できる.また装置構成も非常に簡便になっている.右の合成膜は電極形状を転写しており,合成速度は 0.17mm /min(10.2mm /h)と非常に高い(本文12~18ページ参照).