会誌 NEW DIAMOND 第67号 |
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ニューダイヤモンド |
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第67号 Vol. 18 No.4 (平成14年10月25日号)目 次1 巻頭言●人造ダイヤモンドとダイヤモンド工具──────────────千葉 次郎 展 望 2 フラーレンの大量合成とその展開───────────────────村山 英樹 科学解説 6 イリジウム基板へのダイヤモンド薄膜のエピタキシャル成長 ───────────────────────────鈴木 一博,澤邊 厚仁 技術解説 13 ニューダイヤモンドを用いた AFMによるナノ加工────────────────────────三宅 正二郎 18 ダイヤモンドの微細放電加工────────────────────河田 耕一 トピックス 24 ダイヤモンドプレートレットのFIB加工─────────────────野口 裕之 26 リソグラフィー用ダイヤモンドメンブレンのナノレベル平坦化 ─────────────────西山 昭雄,松木 竜一, 松尾 二郎,瀬木 利夫 28 プラズマCVDによる結晶性窒素含有炭素の作製───────坂本 幸弘,高谷 松文 30 パルスプラズマを利用したマイクロ押出し金型へのDLCコーティング ──────────────────大竹 尚登,楊 旭東,中村 幸則,近藤 好正 ひろば 32 シリーズ:教育の現場から(第1回) 日本工業大学 ―ものづくり教育の老舗─────────────────村川 正夫 海外だより 34 Michigan State University──────────────────────庄 善之 学会だより 36 International Vacuum Microelectronics Conference 2002────────山田 貴壽 Diamond 2002 ──────────────藤崎 豊克,山田 貴壽,小泉 聡,谷口 尚 38 CIMTEC 2002 ─────────────────────────竹内 貞雄 表面技術協会第106回講演大会 ───────────────────渡部 修一 40 第63回応用物理学会学術講演会───────澤邊 厚仁,山田 貴壽,広瀬 洋一 42 ICNDST-8───────────────────────────渡辺 俊哉 43 PETボトルへのDLCコーティング ──────────────────本多 祐二 45 SEMをナノファクトリーに ─────────────────────新澤 雄彦 47 フロンティアカーボンテクノロジープロジェクト 大阪大学集中研究所 ────────────────────────寺地 徳之 49 フォーラムだより──────────────────────────事 務 局 50 第16回ダイヤモンドシンポジウムプログラム───────────────事 務 局 編集後記/掲示板 |
表紙のことば エピタキシャル成長したイリジウム薄膜の原子間力顕微鏡像 稜線は[110]方向,平均表面粗さはÅのオーダーである.ダイヤモンドをこの表面にエピタキシャル成長させるためには,炭素を含んだ高運動エネルギー粒子を表面に照射する必要がある(6 ~ 12ページ参照). 裏表紙は,燃焼炎法により銅基板上に合成された直径(外径円)17μmの平板ダイヤモンドをFIBで端の傾斜部を除去加工後,2個の矩形形状に加工した例.加工時間は約15分.ダイヤモンドを微細かつ高精度に加工でき,加工部にマイクロクラッチなどのダメージは生じていない(24~25ページ参照). |