会誌 NEW DIAMOND 第82号 |
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ニューダイヤモンド |
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第82号 Vol.22 No.3 （平成18年7月25日号）目 次1 巻頭言●中堅・中小企業のものづくりと技術経営―――――――――― 村川 正夫 展 望 2 機能材料に期待する―酸化チタンによる光触媒と ダイヤモンド電極によるオゾン水生成を例にして―――――――――――― 藤嶋 昭 科学解説 6 高硬度ナノ多結晶ダイヤモンドの合成と特徴――――――― 角谷 均，入舩 徹男 12 大気圧プラズマによるDLC膜合成―――――近藤 好正，齊藤 隆雄，寺澤 達矢 19 グラフェンシートから構成される三次元立体構造の理論予測 ―カーボンナノホーンの立体構造― ――――――――――― 河合 孝純 トピックス 24 直径1インチI r基板へのエピタキシャルダイヤモンド成長 ――――――――――――――前田 真太郎，安藤 豊， 鈴木 一博，澤邊 厚仁 26 RFプラズマCVD法で合成したDLC膜のフレッチング摩耗 ――――――――――――――― 阿部 喬晋，小林 利靖，鈴木 学，竹内 貞雄 28 分子手術法による水素分子内包C60の有機合成―――――――― 村田 靖次郎 ひろば 30 シリーズ：教育の現場から（第14 回） 北海道大学――――――――――――――――――――――――― 金子 純一 海外だより 34 ミネソタ大学HTPL滞在報告――――――――――――――――― 赤坂 大樹 学会だより 36 ICNDST & ADC 2006 Joint Conference ――――神田 久生，澤邊 厚仁，大竹 尚登，赤坂 大樹，加藤 宙光，長谷川 雅考 講 座 38 ダイヤモンドをよく知るために ◆ バイオエンジニアリングの応用―――――――――― 長谷部 光泉，鈴木 哲也 （2）DLCの医用応用 42 大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学杉野研究室訪問― 辰巳 夏生 44 ナノテクフェア――――――――――――――――――――――― 安藤 豊 45 超大型DLC膜形成装置――――――――――――――――――― 西口 晃 46 平成18年度第1回研究会報告―――――――――――――――― 山田 貴壽 47 フォーラムだより―――――――――――――――――――――― 事 務 局 編集後記／掲示板 |
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表紙のことば
準大気圧下（26.7 kPa）での DLC合成中の放電状態 陽極とその下方10mmの陰 極間に放電が確認できる．プロセスガスは右斜め45°方向にある供給ノズルを通してプラズマ部近傍に直接吹き付けて おり，左斜め45°方向にある排 気ノズルより排気されている． 裏表紙左ではドラフトチャ ンバ内に設置された円柱状の テフロン治具の下部の円筒電極よりSiウェハに向かって放電しているのが確認できる．また装置構成も非常に簡便になっている．右の合成膜は電極形状を転写しており，合成速度は 0.17mm /min（10.2mm /h）と非常に高い（本文12～18ページ参照）． |
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