会誌 NEW DIAMOND 第84号 |
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ニューダイヤモンド |
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第84号 Vol.23 No.1 （平成19年1月25日号）目 次1 巻頭言●ニューダイヤモンドフォーラムに弥栄―――――――――――――― 杉野 隆 展 望 2 ダイヤモンドおよびcBN応用工具の動向――――――――――――――― 大原 保之 ―――――――――――――――――――――――――――――――― 渡邉 政嘉 科学解説 6 超臨界流体プラズマを用いたカーボン・ナノマテリアルの創製 ―――――――――――――――――――――――――― 笘居 高明，寺嶋 和夫 12 光化学反応を利用したナノカーボン材料のフッ素官能基化学修飾――― 中村 挙子 18 グラファイトナノクレータ電子源とその応用――――――――――――― 松本 貴裕 トピックス 32 酸素化（1 1 1）ダイヤモンドにおける表面伝導層―――――李 成奇，竹内 大輔， C. E. Nebel，徳田 規夫，山崎 雄一，山崎 聡，大串 秀世 34 ダイヤモンド薄膜を利用したトランジスタ型DNAセンサ ―――――――――――――――――久我 翔馬，宋 光燮，梁 正勲，川原田 洋 ひろば 36 シリーズ：教育の現場から（第16回）三重大学―――――――――――― 小海 文夫 学会だより 41 第20回ダイヤモンドシンポジウム ――――――――― 西林 良樹，小泉 聡，斎藤 秀俊，八田 章光，小海 文夫， 澤邊 厚仁，中村 挙子，竹内 貞雄，大竹 尚登 2006 MRS Fall Meeting ――――――――――――――――――――――― 竹内 大輔 講 座 46 ダイヤモンドをよく知るために ◆ わかりやすい機械応用 （2）機械材料としてのニューダイヤモンド：その1 ―――――――――――――――――――――――――――――――――平田 敦 50 書評「DLC膜ハンドブック」―――――――――――――――――――― 大花 継頼 51 北海道大学大学院工学研究科量子ビーム応用計測研究室訪問――――― 横田 嘉宏 54 ナノダイヤモンドによる電界放出光源の開発 ――――――――――――――――西村 一仁，笹岡 秀紀，加藤 正臣，大岡 昌洋 52 フォーラムだより―――――――――――――――――――――――――事 務 局 53 第20回ダイヤモンドシンポジウムプログラム――――――――――――――事 務 局 編集後記／掲示板 |
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表紙のことば
研削ホイールとシリコンウェハ研削ホイールとそれにより研削加工を施された300mmシリコンウェハ．シリコンウェハは研削加工を行ったもので，表面粗さP-V10nm程度となっている．通常，デバイスメーカーでのこの加工工程は，バックグラインディング（裏面研削）と呼ばれ，パターンの製膜された反対側の面つまり裏面を研削する．この工程によって，シリコンウェハは所定の厚み寸法に仕上げられる．近年のシリコンウェハ薄厚化の流れに伴い，研削による加工表面粗さの向上，加工ダメージの低減化が要求されている（本文2～5ページ参照）．裏表紙は，ダイヤモンド粒度#30000 の超微粒ビトリファイドホイールで研削した12インチウェハの表面性状である． |
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"NEW DIAMOND"編集委員会 |
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委員長 澤邊 厚仁（青山学院大学） 委 員 安藤 寿浩（物質・材料研究機構，物質研究所） 安藤 豊（青山学院大学） 大竹 尚登（東京工業大学） 岡野 健（国際基督教大学） 熊谷 泰（ナノコート・ティーエス） 小海 文夫（三重大学） 小巻 邦雄 須藤 彰孝（昭和電工） 角谷 均（住友電気工業） |
関 洋子（エレメントシックス） 竹内 貞雄（日本工業大学） 谷口 尚（物質・材料研究機構，物質研究所） 中村 挙子（独立行政法人産業技術総合研究所） 新田 好男（旭ダイヤモンド工業） 八田 章光（高知工科大学） 平井 寿子（筑波大学） 山田 貴壽（独立行政法人産業技術総合研究所） 渡部 修一（日本工業大学） |