会誌 NEW DIAMOND 第105号 |
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第105号 Vol.28 No.2 （平成24年4月25日号）目 次巻頭言 1 ソリューションプラズマプロセシング ―――――――――――――――――――― 高井 治
解説：CVD 特集 3 CVD 特集にあたって ―――――――――――――――――――――――――― 鹿田 真一 4 Microwave Cavity Plasma Reactors for CVD Diamond Synthesis ――――――――――――――――――――――――――――― Jes Asmussen, Yajun Gu 11 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition System for Diamond Growth ――――――――――――――――――――――――――――――――― Hong-Xing Wang 16 大気開放マイクロ波プラズマCVD によるダイヤモンド成膜 ―――――――――― 八木 秀次 22 直流プラズマCVD法によるダイヤモンド合成 ――――――――――― 澤邊 厚仁，鈴木 一博 27 Evolution of Hot Filament Technology for CVD Diamond Applications ―――― Jerry Zimmer トピックス 32 単結晶AlN/ ダイヤモンド ヘテロ構造成長 ―――――― 平間 一行，谷保 芳孝，嘉数 誠 36 窒化アルミニウム/ ダイヤモンド ヘテロ接合を用いた電界効果トランジスタ ――――――――――――――――――――――――― 井村 将隆，廖 梅勇，小出 康夫 39 サル脳内ドパミン高速検出 ―――――――――――――――――― 吉見 建二，栄長 泰明
海外だより 47 ドレクセル大学滞在 ―――――――――――――――――――――――――― 近藤 剛史
学会だより 45 応用物理学関係連合講演会 ―――――――――――― 赤坂 大樹，寺地 徳之，小川 修一 48 表面技術協会第125回講演大会 ――――――――――――――――――――― 石原 正統 Hasselt シンポジウム ―――――――――――――――――――― 牧野 俊晴，井村 将隆 50 平成23年度第17回技術調査講演会 ―――――――――――――――――――― 高岡 秀充 51 平成23年度第3回研究会報告 ―――――――――――――――――――――― 平田 敦 52 フォーラムだより ―――――――――――――――――――――――――――― 事 務 局
編集後記／掲示板 | |
表紙のことば
ダイヤモンド合成の主流であるマイクロ波CVD 装置（Lambda 社製） Michigan 大学の技術をもとに，Lambda 社が製造した．波長の長い915MHz を用いて，大面積対応可能な装置となっている．ただし日本では，この周波数帯はISM 帯ではなく，MCA無線と携帯電話の通信周波数帯であり，CVD の大電源からの漏れは大きく，完全なシールドが必要である（本文4 ～ 10 ページ参照）． 裏表紙はデュアルチャンバを装備したフィラメントCVD 装置（sp3 社製，本文27 ～ 31 ページ参照）． |
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