会誌 NEW DIAMOND 第137号 |
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第137号 Vol.36 No.2目 次 ダイヤモンドパワーデバイス特集巻頭言 1 ●世界最初のトランジスタは，天然ダイヤモンド表面で可能だった 宝石よりも魅力的なデバイスへ向けて ―――――――――――― 川原田 洋
解 説 3 ダイヤモンドパワーデバイス特集にあたって ―――――――――――― 牧野 俊晴 5 大口径ウェーハの研究開発 ――――――― 山田 英明，茶谷原 昭義，杢野 由明 9 レーザによるダイヤモンドのスライス加工 ―――――――― 比田井 洋史，平井 はるな，松坂 壮太，千葉 明，森田 昇 13 ダイヤモンド半導体のパワーエレクトロニクス利用におけるポテンシャル ―――――――――――――――――――――――――――――――― 舟木 剛 16 NIMSにおけるSIPダイヤモンドパワーエレクトロニクス研究 ――――――――――――――――――――― 小泉 聡，寺地 徳之，嶋岡 毅紘 22 高純度高品質CVDダイヤモンド成長装置開発 ――――― 津川 和夫，鈴木 真理子 26 ダイヤモンドのデバイスプロセス開発と接合デバイス応用 ――――――――― 牧野 俊晴，加藤 有香子，梅沢 仁，Aboulaye Traore， 小倉 政彦，加藤 宙光，竹内 大輔，山崎 聡 32 ダイヤモンド接合FETの研究 ――――――― 室岡 拓也，岩崎 孝之，波多野 睦子
トピックス 36 大気中雰囲気でのダイヤモンド基板とSi基板の低温直接接合 ―――――――――――――― 松前 貴司，倉島 優一，梅沢 仁，高木 秀樹
New Face Book 39 「年中夢求（年中無休）」の日々を過ごして ――――――――――――― 平田 祐樹
海外だより 40 Malaysia-Japan International Institute of Technology（MJIIT）The Global Leader of Japanese-Oriented Engineering Education ――――――――― Shahira Liza Kamis
学会だより 42 Hasselt Diamond Workshop 2020-SBDD ⅩⅩⅤ ――――――――――――――――――――― 山本 卓，鈴木 真理子，中 暢子
講 座 44 ダイヤモンドをよく知るために
49 フォーラムだより ――――――――――――――――――――――――――― 事 務 局
編集後記／掲示板 |
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表紙のことば
SIPプロジェクトで行われた研究の紹介 左上：DiamondView™によるエピタキシャルダイヤモンドの紫外蛍光画像（本文22～25ページ参照）． 右上：pnダイオードの電極除去後の表面SEM像．右上はコメット形状の欠陥部分の拡大図．コメット形状の欠陥は転位束で構成されており，pnダイオードの主要なキラー欠陥となっている（本文32～35ページ参照）． 左下：ICPエッチングにより形成したダイヤモンドJFETのp形チャネル構造のSEM像．微細なチャネル構造によりダイヤモンドJFETのノーマリーオフ特性を実現（本文26～31ページ参照）．右下：エピタキシャルダイヤモンド表面のエッチピットのレーザ顕微鏡像．flat-bottom型とpointbottom型のエッチピットが観察された（本文16～21ページ，参考文献8）参照）． 裏表紙：フェムト秒レーザによるダイヤモンド内部の加工の様子．図中の右から左にレーザを走査することで，変質層が進展している（本文9～12ページ，参考文献1）参照）． |
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