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平成6年第6回機械・工具分科会講演要旨集

日 時: 平成6年2月4日 13:30~17:00
場 所: 東京工業大学国際交流会館
(1) 気相合成ダイヤモンド工具
  吉川昌範(東工大)・・・・・・・・・・・・・1
(2) ダイヤモンド膜及び c-BN膜の工具への応用
  村川正夫(日工大)・・・・・・・・・・・・・・21
(3) 気相法ダイヤモンドを用いた超精密バイト
  小巻邦雄、小柳直樹、小畑龍夫(昭和電工)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・29
(4) 「均一分散砥石:ユニメタル」
  星 順二、高橋 務、岡田英敏、滝沢与司夫(三菱マテリアル)・・・・・・・・・・・・36
   

平成6年第11回光・エレクトロニクス/第10回基礎合同分科会講演要旨集

日 時: 平成6年4月1日(金)10:00~16:45
場 所: 東京工業大学国際交流会館
(1) 半導体の表面フェルミ準位ピンニング
  白藤純嗣(阪大)・・・・・・・・・・・・・・1
(2) 単結晶ダイヤモンドの表面導電層
  西林良樹(住友電工)・・・・・・・・・・・・・13
(3) ダイヤモンド薄膜電気特性の熱処理効果
  宮田浩一(神戸製鋼)・・・・・・・・・・・・・15
(4) 半導体ダイヤモンド表面の水素化及び酸化と電気伝導性
  安藤寿浩(無機材研)・・・・・・・・・・・・・18
(5) 第一原理分子動力学法によるC(001)-2×1、2×2表面の計算
  小林一昭(無機材研)・・・・・・・・・・・・・20
(6) 単結晶ダイヤモンドの表面導電層
  牧 哲郎(阪大) ・・・・・・・・・・・・・・22
(7) 酸化物不純物源を用いた半導体ダイヤモンドの表面伝導
  岡野 健(東海大)・・・・・・・・・・・・・・23
(8) ダイヤモンド表面伝導層の電子デバイスへの利用
  川原田 洋(早大)・・・・・・・・・・・・・24
   

平成6年第11回基礎分科会講演要旨集

日 時: 平成6年10月14日(金)11:00~17:00
場 所: 東京大学生産技術研究所

「ニューダイヤモンドにおける基板バイアス効果」

(1) c-BN生成と基板バイアス効果
  吉田豊信(東大)・・・・・・・・・・・・・・・1
(2) イオンプレーティングによるc-BN膜形成における基板バイアス効果
  渡部修一(日工大)・・・・・・・・・・・・・・11
(3) ECRプラズマCVDによるダイヤモンド膜作製時のバイアス効果
  八田章光(阪大)・・・・・・・・・・・・・・・19
(4) バイアス処理によるダイヤモンドの核生成とその配向性制御
  前田英明(九州大)・・・・・・・・・・・・・・27
(5) ダイヤモンドの核発生(イオン効果を中心として)
  湯郷成美(電通大)・・・・・・・・・・・・・・39